低介電常數(shù)聚有機(jī)硅涂料
聚有機(jī)硅電介質(zhì)涂敷材料是通過(guò)將特定的聚碳硅烷接受加熱或高能量處理產(chǎn)生具有低k介電性質(zhì)的交聯(lián)聚有機(jī)硅涂料來(lái)制備的。加熱過(guò)程包括多階段依次提高溫度的加熱步驟。所制備的聚有機(jī)硅聚合物能夠用作電介質(zhì)互連材料和膜涂層，用于半導(dǎo)體器件中導(dǎo)電布線。這些聚有機(jī)硅膜涂層還具有相對(duì)熱穩(wěn)定性和對(duì)基片表面的優(yōu)異粘合性的附加特性。
